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Contour 高精度三維形貌計量光學(xué)輪廓儀

Contour 高精度三維形貌計量光學(xué)輪廓儀融合了高級表征、可定制選項和易用性，可以提供快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的非接觸式三維表面計量方法。

它的操作和分析軟件系統(tǒng)提供了更易于使用的界面和簡潔的功能，可以訪問多種預(yù)編程濾鏡和分析工具，用于精密加工的表面，薄膜，半導(dǎo)體，眼科，醫(yī)療設(shè)備，MEMS和摩擦學(xué)等領(lǐng)域的測量分析。

Contour 高精度三維形貌計量光學(xué)輪廓儀滿足計量要求，具有很好的Z軸分辨率和準(zhǔn)確性，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克白光干涉儀（WLl）落地式型號所具備的業(yè)界認(rèn)可的優(yōu)點。它對反射率從0.05%到100  %的各種表面都非常易于測量。

Contour 高精度三維形貌計量光學(xué)輪廓儀擁有三款型號，分別是GT100、GT200、GT500，它們的技術(shù)參數(shù)如下：

Contour 高精度三維形貌計量光學(xué)輪廓儀

型號	GT100	GT200	GT500
圖片
樣品臺區(qū)別	手動樣品臺	自動樣品臺	高級自動化樣品臺
技術(shù)參數(shù)	掃描量程：≤10mm 垂直分辨率：＜0.01nm 水平分辨率：0.38μm min（Sparrow criterion），0.13μm（with AcuityXR） 臺階高度準(zhǔn)確性：＜0.75% 臺階高度重復(fù)性：＜0.1% 1 sigma repeatability 掃描速度：37μm/sec(with standard camera) 樣品傾角：≤40°（shiny surfaces），≤87°（rough surfaces） 樣品高度：≤100mm（4 in.）