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中科院微電子研究所勻膠機/旋涂儀送3吸盤
適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A、KW-4T和KW-5型。
產(chǎn)品主要特點
1、開關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準。
2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動之后，先以低速運轉(zhuǎn)，使膠攤開，然后自動轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應的時間分別可調(diào)，時間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。
4、具有定時功能。
5、測速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖，由晶體分頻測速準確性高。
6、"吸片"采用電磁閥控制氣路，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，適合流水線的工藝，提高了效率。
7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運轉(zhuǎn)時噪音低。
中科院微電子研究所勻膠機/旋涂儀送3吸盤參數(shù)
參數(shù) | 指標 |
調(diào)速范圍和勻膠時間 | Ⅰ檔調(diào)速范圍：500-2000轉(zhuǎn)/分Ⅰ檔勻膠時間：2-18秒 Ⅱ檔調(diào)速范圍：1300-8000轉(zhuǎn)／分Ⅱ檔勻膠時間：3-60秒 |
適用 | Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠 |
電機功率 | 40W |
LED數(shù)字顯示 | 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1％，膠的均勻性：±3％ |
真空泵抽氣速率 | ≥60升／分 |
儀器尺寸 | 210×220×160mm |
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