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三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5

自動(dòng)變焦三維表面形貌測(cè)量?jī)xInfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標(biāo)測(cè)量和表面形貌測(cè)量于一體的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)。

突出特點(diǎn)：

一款*的3D光學(xué)測(cè)量?jī)x

InfiniteFocus G5整合了微型三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)所有的功能。

萬(wàn)能和高效

LED環(huán)形燈的設(shè)計(jì)，使表面測(cè)量的范圍幾乎不受限制。

高分辨，高可重復(fù)性和可溯源

即使對(duì)于復(fù)雜樣品表面，仍可以獲得高達(dá)10納米的垂直分辨率

高測(cè)量速度

InfiniteFocus的測(cè)量速度可以達(dá)到170萬(wàn)點(diǎn)/秒。

模塊化和可擴(kuò)展性

新的功能可以很容易通過(guò)擴(kuò)展測(cè)量模式整合

全自動(dòng)

測(cè)量簡(jiǎn)單且自動(dòng)化程度高，如自動(dòng)更換物鏡等

 主要技術(shù)參數(shù)：

位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm

樣品表面結(jié)構(gòu)：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2µm，取決于表面結(jié)構(gòu)

樣品高度：100mm ～ 345mm

樣品重量：30kg

水平分辨率：0.44µm

垂直分辨率：10nm

掃描高度：22.5mm

擴(kuò)展視野范圍：10000mm2

單一方向掃描范圍：100mm

測(cè)量速度:170萬(wàn)個(gè)測(cè)量點(diǎn)/秒

測(cè)量高度：0.01µm

測(cè)量高度：22.5mm

測(cè)量范圍：10000mm2

測(cè)量形貌長(zhǎng)度：100mm

可重復(fù)性：0.001µm

測(cè)量粗糙度（Ra）：0.03µm

測(cè)量粗糙度（Sa）：0.015µm

測(cè)量半徑：1µm

測(cè)量垂直角度：20°

測(cè)量?jī)A斜角度：87°

自動(dòng)變焦 G5比InfiniteFocus G4擁有更*的性能

測(cè)量速度增加20倍

自動(dòng)設(shè)置

適用更多材料及更復(fù)雜表面的測(cè)量

更穩(wěn)定，更精密的測(cè)量

測(cè)量精度更高，尤其對(duì)于大范圍面積樣品的測(cè)量