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一、前言

通過侵蝕材料的特性來進(jìn)行雕刻的一種液體。 目前已經(jīng)使用的蝕刻液類型主要有六種類型:酸性氯化 銅、堿性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。其中氯化鐵蝕刻液的刻蝕速度主 要受刻蝕溫度、鹽酸含量和鐵離子含量的影響。其中蝕刻液中鹽酸添加量的影響:在蝕刻液中加入鹽酸， 可以抑制FeCl3 水解，并可提高蝕刻速率，尤其是當(dāng)溶銅量達(dá)到 37.4g/L 后，鹽酸的作用更明顯。但是鹽 酸的添加量要適當(dāng)，酸度太高，會(huì)導(dǎo)致液態(tài)光致抗蝕劑涂層的破壞。本次實(shí)驗(yàn)采用JH-T6全自動(dòng)電位滴定 儀按照其電位突躍點(diǎn)確定終點(diǎn)，測(cè)定其鹽酸的含量，驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)方案的可行性。

二、儀器與試劑

2.1、儀器

JH-T6全自動(dòng)電位滴定儀，復(fù)合 PH 電極，分析天平等

2.2、試劑

3mol/L KF 溶液，0.1mol/L 氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定液

三、實(shí)驗(yàn)方法

3.1、實(shí)驗(yàn)過程：

準(zhǔn)確稱取 1g 待測(cè)試樣（精確至 0.0001g）,依次加入 50mL 去離子水，25mL 3mol/L 的 KF 溶液，混合 均勻，用標(biāo)定好的氫氧化鈉滴定液滴定至電位突越終點(diǎn)，同時(shí)做空白試驗(yàn)，計(jì)算鹽酸含量。

3.2、儀器參數(shù)

儀器參數(shù)，如表 1 所示：

表 1 滴定儀參數(shù)設(shè)置