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Moxtek專為240nm到400nm紫外波段應(yīng)用設(shè)計紫外偏振片，采用特*的納米線柵技術(shù)，性能優(yōu)異，具有大入射角，寬波長范圍，耐熱性高，高透過率，高消光比等特點。

產(chǎn)品型號和規(guī)格

技術(shù)數(shù)據(jù)：透過率以及消光比

紫外偏振片主要應(yīng)用

1.半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用：

DUV步進(jìn)器和DUV掃描儀是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的核心和關(guān)鍵單元。使用波長為248 nm和193 nm的單色紫外線輻射，將結(jié)構(gòu)從光掩模板轉(zhuǎn)移到襯底上。在光刻材料的曝光中增加偏振光可將分辨率提高20%。

紫外偏振片也廣泛用在無圖形晶圓光學(xué)檢測設(shè)備上，實現(xiàn)高精度的缺陷檢測。

2.紫外線固化

偏振紫外線用于固化高*印刷行業(yè)中使用的紫外線敏感油墨，使用偏振光可以實現(xiàn)更快的生產(chǎn)速度和更大的產(chǎn)能，從而提高機(jī)器和工廠的利用率。

3.光對準(zhǔn)Photo Alignment

使用240至300nm范圍內(nèi)的線性偏振紫外線，可以實現(xiàn)LC顯示器行業(yè)的精確對準(zhǔn)，以生成各向異性對準(zhǔn)膜。傳統(tǒng)的摩擦聚酰亞胺會產(chǎn)生灰塵、靜電和機(jī)械損傷。在不用大面積變動的情況下，UV偏振光允許極快生成均勻和穩(wěn)定的偏置傾斜角。

4.光譜儀

Moxtek UVD260和UVD240偏振片可用于光譜儀，與Glan-Taylor棱鏡相比，其小尺寸、寬接受角、均勻性和寬波長帶寬特點具備明顯的優(yōu)勢，另外相比傳統(tǒng)的Glan-Taylor棱鏡，UVD系列偏振片還具有更高的對比度和透過率，同時支持更大的AOI，需要更少的空間，沒有光學(xué)像差，厚度僅為2mm左右。