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METONE 3411 METONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器

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METONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器適用于半導體潔凈室監(jiān)測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。METONE 3411空氣顆粒計數器具有業(yè)界*的 ISO 21501 數據準確性和再現性,是業(yè)內zui潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數器。

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METONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器

METONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器適用于半導體潔凈室監(jiān)測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。METONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器具有業(yè)界的 ISO 21501 數據準確性和再現性,是業(yè)內zui潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數器。

METONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器特點

可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數器能讓排氣扇點塵不染
熱插拔電池-*確保儀器長時間連續(xù)運行
由于儀器使用的是熱插拔電池,故無論儀器是充電還是斷電、計數歸零及采用備份電源時都無需停機
測試向導(Test Wizard)能使您在組織潔凈室時讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導體生產環(huán)境時節(jié)省時間并消除錯誤
順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數器可依次從多達32個位置進行順序采樣。
靈活的通訊方式——設置簡單,數據傳輸方便
供選擇的無線,以太網和串口通訊可以將數據傳輸到METONE數據管理系統(tǒng),或者客戶已有監(jiān)控軟件,以便減少文書工作
直觀的用戶界面
簡便的區(qū)域,位置和運行參數的配置和復制,節(jié)約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中,從而消除參數設置錯誤,并節(jié)省時間。還可以在整個顆粒計數組部署采樣計劃!
符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
于滿足特殊顆粒計數要求,儀器與儀器之間的準確度和再現性*符合 ISO21501-4標準要求。

METONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器技術參數

通道個數 6
 粒徑 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
 光源 氦氖激光器
 重量 不含電池:15.9 公斤,電池:0.66 公斤
 尺寸 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (寬 x 長 x 高)
 機箱材質 便于清洗的鈍化不銹鋼
 流速 1.0 CFM (28.3 LPM)
 零計數 ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標準:5分鐘內1顆或少于一顆, 95% 置信區(qū)間
 符合損失 在 50,000 /ft3 時,為5%,符合ISO 21501-4標準
 泵的類型 可供連續(xù)使用的的多瓣閉路循環(huán)控制泵
 計數效率 在0.1 µm時為 50%。根據ISO 21501-4和JIS B 9921,粒徑大于0.15µm時為 *
 運行溫度 10 至 40°C; 相對濕度為10 至 90%,無冷凝
 顯示 ¼ VGA 彩色 TFT 觸摸屏
 打印機 高速熱敏打印機
 語言 英語,法語,德語,意大利語,西班牙語,韓語*,日語*,中文
 可以顯示的zui大數值 9,999,999 displayed
 延遲時間 15秒鐘至23小時59分59秒
 采樣/停留時間 1秒鐘至23小時59分59秒
 計數警報 1~ 9,999,999 個計數值
 位置 編號:0 至 999; 名稱:文字描述,顯示在打印輸出資料上
 數據存儲 5,000 個樣品, 在歷史數據查看頁面上可以滾動(FIFO 或 Overflow)
 輸出 USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網配有802.11g通訊協(xié)議的無線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統(tǒng) (警報和掃描探頭)
 鋰電池,可充電、可熱插拔 Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
 輸入 空氣速度探頭,相對濕度/溫度探頭
 自動 CDA 清洗 連接到CDA之后,清洗電磁閥會被激活
 電源 24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器
 電池類型 智能鋰電池,可充電,可熱插拔
 電池使用時間  zui短 3 小時
 電池的充電時間 電池的充電時間
 包含電池數量 2組

METONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器配置

 部件編號 描述
 2087966-01 等動力探頭1.00 CFM,鍍鎳鋁制3/8“倒鉤接頭
 960380 樣品管,內徑 3/8” ,長 10英尺
 2088035-01 等動力探頭適配器,鋁制
 970650 等動力探頭三腳架
 230-300-7052 24VDC電源輸出
 VP623500 電源線:115VAC, 6' L
 VP623501 電源線:115VAC, 6' L
 2087939-01 零計數過濾器 1CFM
 2087090 PortAll 軟件,CD
 460519 打印紙,2卷
 280-120-2024 2組鋰電池
 210-400-5171 觸摸屏手寫筆
 2088010-01 128M USD閃存驅動
 410-150-0011 3針微型接線端子
 410-420-0020 接線端子罩殼
 490-200-0001 無線天線,附帶無線版本P / N 2088800-02

MET ONE 3411 便攜式空氣計數器可選配件

 部件編號 描述
 CAL_GAS_3411 3411型的氣體校準,包括氦、氬、二氧化碳和氮氣
 701241-01 3400系列IQ / OQ 驗證文件(CD)
 2087966-02 等動力探頭1.0 CFM,不銹鋼制3/8“倒鉤接頭
 2089406-01 等動力探頭支架
 460519 打印紙(價格以每卷計)
 280-300-5000 智能電源充電器
 280-120-2024 智能鋰電池
 2088928 溫度和相對濕度探針VAISALA HMP50
 2087939-01 零點計數過濾器(1.0 CFM型)
 460-400-4798 電纜,USB2.0 高速,1m
 2084045-02 Particle Vision PortAll, 2.0.x版,套件,下載工具軟件,適配器和說明書(串行電纜需單獨購買)
 700011-21 PortAll 許可標準版
 2088000-01 過濾器掃描探頭(電子式)1 CFM
 2088000-02 過濾器掃描探頭(無電子式)1 CFM
 2088012-02 適配器,USB轉RS232,USB線纜
 2088012-01 適配器,USB轉RS485,USB線纜
 2080732-8 高壓擴散器,用于 1.0 CFM 設備。


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