由處理器控制的帶有耐腐蝕螺旋燈絲的Pirani真空變送器VSP非常適合在精細(xì)真空范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。
帶有Pirani傳感器的VSP真空變送器概述：
耐用：Elastic Pirani螺旋燈絲，也可用于侵蝕性氣體的Pt / Rh版本
穩(wěn)定：穩(wěn)定的測(cè)量值歸功于優(yōu)化的兩階段 溫度補(bǔ)償
受到良好保護(hù)的：集成式金屬蓋可防止機(jī)油或溶劑蒸氣等污染
耐超壓：耐高壓達(dá)16 bar
概述Smartline真空變送器：
大量的接口選擇：數(shù)字RS485接口加上0-10 V輸出信號(hào)，EtherCAT或Profinet。此外，藍(lán)牙適配器SLKBT支持無線通信
可更換的傳感器頭：帶有存儲(chǔ)的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的可輕松更換的更換傳感器頭
可選顯示器：大型LCD顯示器（EtherCAT，Profinet除外）
調(diào)節(jié)簡單：只需按一下按鈕或通過界面即可調(diào)節(jié)零壓力和大氣壓
LED：用于狀態(tài)顯示和切換點(diǎn)
可擴(kuò)展的輸出特性：0-10 V輸出信號(hào)可以根據(jù)所需的特性進(jìn)行縮放。
因此，與制造商無關(guān)，可以輕松地進(jìn)行現(xiàn)有真空規(guī)的更換，而無需進(jìn)行編程工作。
如果要保留電纜但要更換變送器，則可以使用適配器（例如FCC68）。
適用于超高壓：由于采用金屬密封的不銹鋼測(cè)量元件，適用于超高壓（氦氣泄漏率<5e-10 mbar l / s）
繼電器開關(guān)點(diǎn)：兩個(gè)獨(dú)立的無電勢(shì)繼電器開關(guān)點(diǎn)（EtherCAT，Profinet除外）
堅(jiān)固：耐腐蝕，符合EMC標(biāo)準(zhǔn)的金屬外殼，防護(hù)等級(jí)高達(dá)IP54
控制器：可以通過2通道控制器VD12或4通道控制器VD14進(jìn)行擴(kuò)展
VacuGraphTM Windows軟件：用于可視化，分析和存儲(chǔ)測(cè)量數(shù)據(jù)
| 測(cè)量原理 | 導(dǎo)熱系數(shù)皮拉尼 |
| 氣體類型依賴性 | 取決于氣體類型 |
| 測(cè)量范圍毫巴 | 1000-1e-4mbar(1000mbar-0.0001mbar) |
| 測(cè)量范圍托 | 750-1e-4托 |
| 過載 | 10 bar，16 bar 與CERT31P |
| CERT31P的過載 | 高達(dá)16 bar的吸收強(qiáng)度。 |
| 準(zhǔn)確性 | 1000-20 mbar：約30％fr | 20-0.002 mbar：10％fr |
| 重復(fù)性 | 20-0.002 mbar：+ -2％fr |
| 真空接觸材料 | 不銹鋼1.4307，鎢，鎳，玻璃 |
| 反應(yīng)時(shí)間 | 40毫秒 |
| 工作溫度 | + 5 ... + 60°C |
| 儲(chǔ)存溫度 | -40 ... + 65°C |
| 烘烤溫度 | 法蘭上150°C（關(guān)閉電源） |
| 電源供應(yīng) | 20至30 VDC |
| 能量消耗 | 2.5 W，對(duì)于EtherCAT /繼電器/ LCD為0.8 W，另外為Profinet為1.6 W |
| 輸出信號(hào)SL | 0-10 VDC，最小10kΩ，測(cè)量范圍1.5至8.5 VDC，對(duì)數(shù) 除了EtherCAT，Profinet |
| 串列介面 | EtherCAT，Profinet，RS485：9.6 kBd至115 kBd，8個(gè)數(shù)據(jù)位，1個(gè)停止位，無奇偶校驗(yàn)EtherCAT，Profinet |
| 切換輸出 | 2個(gè)繼電器，無電勢(shì)，50 VAC / 2 A或30 VDC / 2 A，60 VA，EtherCAT和Profinet除外 |
| 電氣連接 | RS485 / 0-10V：SubD 15針公頭，RS485 / EtherCAT / Profinet：1x M12 A / 2x M12 D母頭 |
| 真空連接 | DN 16 ISO-KF（VSP63），DN 16 CF-F（VSP64） |
| 方面 | 99 x 69 x 48毫米（VSP63） |
| 防護(hù)等級(jí) | IP40，IP54，帶配套連接器XB15SL05 |
| 重量 | 190克（VSP63） |
