評(píng)價(jià)曲線(xiàn)等的曲線(xiàn)表示功能
除了顯示演算結(jié)果之外，還可以顯示按區(qū)間的演算結(jié)果和評(píng)價(jià)曲線(xiàn)、負(fù)荷曲線(xiàn)、振幅分布曲線(xiàn)
規(guī)格/型號(hào)
標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)型檢出器 退避型 橫向驅(qū)動(dòng)型
型號(hào)：SJ-310(0.75mN型)SJ-310(4mN型)SJ-310(0.75mN型)SJ-310(4mN 型)SJ-310(0.75mN 型)SJ-310(4mN 型)
貨號(hào)：178-570-01 178-570-02 178-572-01 178-572-02 178-574-01 178-574-02
測(cè)量范圍 X 軸16.0 mm 5.6 mm
檢出器 范圍360 μm(-200 μm ～ +160 μm)
范圍/ 分辨率360 μm / 0.02 μm |100 μm / 0.006 μm |25 μm / 0.002 μm
測(cè)量速度測(cè)量時(shí)： 0.25mm/s, 0.5mm/s, 0.75mm/s、返回時(shí)： 1mm/s
測(cè)力/ 測(cè)針形狀貨號(hào)末尾：為-01 時(shí)：0.75mN / 2μmR 60o、代碼號(hào)末尾為 -02 時(shí)： 4mN / 5μmR 90o
導(dǎo)頭壓力400mN 以下
適應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)JIS '82/JIS '94/JIS '01/ISO '97/ANSI/VDA
測(cè)量曲線(xiàn)測(cè)量曲線(xiàn)面曲線(xiàn)、粗糙曲線(xiàn)、DF 曲線(xiàn)、粗糙MOTIF、波形MOTIF 曲線(xiàn)
評(píng)價(jià)參數(shù)Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax*1, Rp, Rv, R3z, Rsk, Rku, Rc, RPc, Rsm, Rz1max*2, S, HSC, RzJIS*3, Rppi, RΔa, RΔq, Rlr, Rmr,Rmr(c), Rδc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, λa, λq, Lo, Rpm, tp*4, Htp*4, R, Rx, AR, W, AW, Wx, Wte 可定制
解析圖表負(fù)荷曲線(xiàn)、振幅分布曲線(xiàn)
過(guò)濾器Gaussian, 2CR75, PC75
截止波長(zhǎng)
λc 0.08、0.25、0.8、2.5、8 mm
λs *5 2.5、8 μm
取樣長(zhǎng)度0.08、0.25、0.8、2.5、8 mm
取樣數(shù)×1,×2,×3,×4,×5,×6,×7,×8,×9,×10,
任意(0.3 ～ 16.0mm ：0.01mm 間隔)
×1,×2,×3,×4,×5,×6,×7,×8,×9,×10,
任意(0.3 ～ 5.6mm ：0.01mm 間隔)
液晶尺寸(顯示區(qū)域) 117.8×88.2 mm
