OptoSurf在線表面測量系統(tǒng)可靠、準確、高重復性：對于每個測量設備在預定的公差值范圍內，分辨率極限和測量重復性高是設備的*大優(yōu)勢之一。
傳感器可檢測的粗糙度值大約Ra 1nm，長度50mm工件表面，可檢測直線度偏差約<0.03µm,且測量能力指數(shù)Cg>1.33

測量技術需要現(xiàn)代的軟件配合，以便能夠處理大量的測量數(shù)據(jù)。OS 500軟件能夠記錄測量數(shù)據(jù)，以及后續(xù)的測量數(shù)據(jù)分析和表示。通過定義公差值，不合格產(chǎn)品可以被自動識別出來。并且可以通過使用條碼掃描器識別零件，使得運行零件測量程序變得更加智能?；跀?shù)據(jù)庫的軟件，可通過矩陣掃描儀識別零件，全自動測量過程，qs STAT數(shù)據(jù)導出，三維圖形（Aq，I，M，形狀，波紋度）原始數(shù)據(jù)的表示過濾數(shù)據(jù)的表示；高、低、帶ISO濾波器設置 。