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光學(xué)原子力顯微鏡（光學(xué)一體機）

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光學(xué)原子力顯微系統(tǒng)（光學(xué)一體機）


FM-Nanoview Op-AFM

系統(tǒng)簡介：

◆ 光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計，功能強大；

◆ 同時具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能，兩者可同時工作，互不影響；

◆ 同時具備光學(xué)二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能；

◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強；
◆ 精密探針定位裝置，激光光斑對準調(diào)節(jié)非常簡便；
◆ 單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描；
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；

◆ 超高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位；
◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優(yōu)于98%。

◆ 技術(shù)參數(shù) Technical Parameters

工作模式

接觸模式、輕敲模式

光學(xué)目鏡

10X

選配模式

摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力

照明方式

LED柯勒照明系統(tǒng)

力譜曲線

F-Z力曲線、RMS-Z曲線

光學(xué)調(diào)焦

粗微動手動調(diào)焦

XY掃描范圍

50×50um，可選20×20um，100×100um

攝像頭

500萬像素CMOS傳感器

Z掃描范圍

5um，可選2.5um，10um

顯示屏

10.1寸平板顯示器，帶圖像測量功能

掃描分辨率

橫向0.2nm，縱向0.05nm

掃描速率

0.6Hz~30Hz

樣品尺寸

Φ≤68mm，H≤20mm

掃描角度

0~360°

樣品臺行程

25×25mm

運行環(huán)境

Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)

光學(xué)物鏡

5X/10X/20X/50X平場復(fù)消色差物鏡

通信接口

USB2.0/3.0







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