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R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50-200-EC 方塊電阻測(cè)試儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 上海納騰儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) R50-4PP/R50-EC/R50-200-4PP/R50
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2023/2/14 11:55:33
  • 訪問(wèn)次數(shù) 447

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Filmetrics的薄膜電阻測(cè)量設(shè)備開(kāi)發(fā)源自于有著超過(guò)30年經(jīng)驗(yàn)的KLA的薄膜電阻計(jì)量技術(shù),并由20臺(tái)式測(cè)量設(shè)備開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)的Filmetrics團(tuán)隊(duì)完善了桌面式方塊電阻測(cè)量產(chǎn)品。KLA薄膜電阻測(cè)量技術(shù)包括接觸(4PP)和非接觸(EC)方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測(cè)量?jī)x器可測(cè)量沉積在各種基材上的導(dǎo)電片和薄膜,跨越10個(gè)數(shù)量級(jí)范圍電阻率,包括:

半導(dǎo)體晶圓基板

玻璃基板

塑料(柔性)基材

PCB圖案特征

太陽(yáng)能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、主要功能

l 技術(shù)規(guī)格

Model

Description

R50-4PP

四探針測(cè)試

自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm

可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-EC

非接觸渦流測(cè)試

自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm

可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量

可放置直徑200mm晶圓樣品

R50-200-4PP

四探針測(cè)試

自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm

可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量

R50-200-EC

非接觸渦流測(cè)試

自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm

可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量

三、應(yīng)用

支持廣泛的測(cè)量,包括但不限于以下各項(xiàng):

金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率、多層膜



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