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Diener ATTO等離子清洗機(jī)

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10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 為手動(dòng)型,配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng),主要用于以下領(lǐng)域:

  • 小批量生產(chǎn)

  • 分析 (REM, TEM)

  • 醫(yī)療技術(shù)

  • 滅菌

  • 研究和開發(fā)部門

  • 考古

  • 紡織技術(shù)

  • 塑料技術(shù)

等離子設(shè)備 Atto,配有手動(dòng)控制系統(tǒng)、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機(jī)、等離子活化系統(tǒng),用于小批量工藝研發(fā)、清洗、活化、蝕刻等離子設(shè)備 Atto,配有外部 PC 控制系統(tǒng)、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機(jī)、等離子活化系統(tǒng),用于小批量工藝研發(fā)、清洗、活化、蝕刻 - 等離子系統(tǒng)等離子設(shè)備 Atto,配有內(nèi)置式 PC 控制系統(tǒng)、等離子清洗器、等離子灰化器、等離子蝕刻機(jī)、等離子活化系統(tǒng),用于小批量工藝研發(fā)、清洗、活化、蝕刻 - 等離子系統(tǒng)


系列

Atto 手動(dòng)控制

Atto 外部PC控制

Atto 集成PC控制

控制系統(tǒng)

手動(dòng)型、通過模擬計(jì)時(shí)器測(cè)定工藝時(shí)間

PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XP)

PC-控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)

體積

10.5L

真空腔室

玻璃材質(zhì)、 211 mm、長(zhǎng) 300 mm

樣品支架

1個(gè)樣品支架

氣源

2 個(gè)由針型閥控制的氣體通道

2 個(gè)由 MFCs 控制的氣體通道

2 個(gè)由 MFCs 控制的氣體通道

高頻電流發(fā)生器

40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W,300W

真空泵

8 m3/h

外尺寸

  525 mm、高   275 mm、深   450 mm

電源電壓

AC220V




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