Pico 等離子設(shè)備能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)一同使用的見(jiàn)的選裝件。Pico 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
分析 (REM, TEM)
考古
汽車(chē)行業(yè)
研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)
半導(dǎo)體技術(shù)
小批量生產(chǎn)
塑料技術(shù)
醫(yī)療技術(shù)
微系統(tǒng)技術(shù)
傳感器
滅菌
紡織技術(shù)
系列 | Pico系列 |
控制系統(tǒng) | 半自動(dòng)型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 4~15L |
真空腔室 | 圓形不銹鋼件，配有蓋子
（大約Φ 150 mm, 長(zhǎng) 320 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）或者 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門(mén)
（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm） 配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門(mén)
（大約Φ 130 mm, 長(zhǎng) 300 mm 或者長(zhǎng) 600 mm） 配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén)
（大約Φ 130 mm, 長(zhǎng) 300 mm 或者長(zhǎng) 600 mm） 配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén)
（大約Φ 130 mm, 長(zhǎng) 300 mm 或者長(zhǎng) 600 mm） |
電極 | 單層或多層 RIE |
樣品支架 | （選項(xiàng)：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質(zhì)量流量控制器 (MFCs) |
壓力計(jì) | Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本） |
計(jì)時(shí)器 | 數(shù)字型 |
高頻電流發(fā)生器 | 40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無(wú)級(jí)可調(diào)型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
電源 | 臺(tái)式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位 |
備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測(cè)試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z(yǔ)言的文件、現(xiàn)場(chǎng)安裝，包括培訓(xùn)?？蓱?yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。
