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SJ6000 激光干涉無損檢測儀

參考價(jià) 280000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品牌
  • 型號 SJ6000
  • 所在地 深圳市
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2022/12/30 9:24:01
  • 訪問次數(shù) 1976

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SJ6000激光干涉無損檢測儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點(diǎn)是在具有強(qiáng)大的排除干rao能力的情況下還具有非常高的精度,其分辨率可以達(dá)到納米級,從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

激光干涉儀是一個(gè)交流測試系統(tǒng),當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí),其頻率不會受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強(qiáng),精度高,測量結(jié)果可靠,在精度高要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。


與傳統(tǒng)的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時(shí)處理數(shù)據(jù),為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。中圖儀器SJ6000激光干涉無損檢測儀在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上,給用戶提供了更多選擇。


激光干涉儀2


應(yīng)用

數(shù)控機(jī)床的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一般是滾珠絲桿副,滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差,且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降,當(dāng)前有效且廣泛應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償。

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對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償



SJ6000激光干涉無損檢測儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點(diǎn)是在具有強(qiáng)大的排除干rao能力的情況下還具有非常高的精度,其分辨率可以達(dá)到納米級,從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。

激光干涉儀3.jpg


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與不同光學(xué)附件結(jié)合,SJ6000激光干涉儀可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu),安裝位置靈活,便于分析機(jī)床誤差來源;而且測量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù),更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo),目前各國機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀。因此,可以說用激光干涉儀檢測機(jī)床各項(xiàng)誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。




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