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「RecipeDirector」特點(diǎn)

提高生產(chǎn)性以及測(cè)量程式質(zhì)量

  • 可不使用晶片及測(cè)長(zhǎng)SEM，離線作成測(cè)量程式
  • 可僅通過(guò)制定計(jì)測(cè)點(diǎn)及測(cè)長(zhǎng)方法，自動(dòng)作成測(cè)量程式
  • 可不依賴于操作者的技術(shù)，作成統(tǒng)一質(zhì)量的測(cè)量程式
  • 采用服務(wù)器&客戶端方式


利用設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)自動(dòng)作成測(cè)長(zhǎng)SEM測(cè)量程式

「DesignGauge-Analyzer」特點(diǎn)

  • 對(duì)CG5000中取得的SEM圖像進(jìn)行再次測(cè)長(zhǎng)
  • 具備可通過(guò)SEM圖像查閱及表格形式進(jìn)行測(cè)長(zhǎng)結(jié)果確認(rèn)等數(shù)據(jù)分析功能
  • 使用測(cè)長(zhǎng)算法的Contour（模型形狀的輪廓線）提取功能（Contour：可選功能）


光刻工藝的OPC評(píng)價(jià)，模型測(cè)量的化的支持

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  • 高分辨率FEB測(cè)長(zhǎng)儀器 CG5000 (HITACHI CD-SEM) 高分辨率FEB測(cè)長(zhǎng)儀器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)


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