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SKY CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

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詳細信息 在線詢價

好處

  • 從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程
  • 電源接通后快速穩(wěn)定
  • 暴露于大氣壓后快速恢復
  • 防腐蝕陶瓷傳感器
  • 的*信號穩(wěn)定性
  • 溫度補償
  • 傳感器受防污染保護
  • 一鍵調零功能
  • 寬范圍電源

典型應用

  • 用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導體制造設備
  • 數據存儲和顯示器制造設備
  • 工業(yè)真空設備
  • 經濟、高度精確的壓力測量

規(guī)格

類型 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
溫度效應          
零點 percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
滿量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
壓力,大 kPa (absolute) 400 260 260 130 130
反應時間 (2) ms 30 30 30 130 130
低讀數 percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建議的低讀數 percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建議的低控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
溫度          
運行(環(huán)境) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
在法蘭處烘烤 (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
貯存 °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
電源電壓 V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
功耗 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
輸出信號(模擬) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
保護等級 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
標準          
CE 合規(guī) EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
電氣連接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
設定點 (4)          
設定點數量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
繼電器觸點 30 30 30 30 30
滯后 percent FS 1 1 1 1 1
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
內部容積          
1/2'' 管 cm³ (in.³)        
DN 16 ISO KF cm³ (in.³)        
DN 16 CF-R cm³ (in.³)        
8 VCR® cm³ (in.³)        
重量          
1/2'' 管 g        
DN 16 ISO KF g        
DN 16 CF-R g        
8 VCR® g        

(1) 非線性,遲滯,在 25 °C 環(huán)境工作溫度中的可重復性,2 小時工作后無溫度影響。

(2) 提高 10 … 90 % FS

(3) 非運行

(4) * CDG025D-S

(5) 28% 鎳,23% 鉬,49% 鐵

(6) 18% 鉻,10% 鎳,3% 鉬,69% 鐵

CDG025D PN.png

數據表

手冊

手冊

三維步驟文件


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