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BAG302 中到超高真空真空計(jì)

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好處

  • 測(cè)量范圍從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)
  • 雙標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲
  • 一體式主動(dòng)測(cè)量?jī)x,內(nèi)置顯示器、設(shè)定點(diǎn)、模擬輸出和標(biāo)準(zhǔn)集成式 RS485 數(shù)字接口
  • 帶鍵盤(pán)的明亮的數(shù)字 OLED 顯示屏,簡(jiǎn)化設(shè)置、操作和編程
  • 用戶(hù)可編程的設(shè)定點(diǎn)繼電器
  • 用戶(hù)可編程的顯示器單位:mbar、Torr 或 Pa
  • 用戶(hù)可選的發(fā)射電流自動(dòng)設(shè)換范圍
  • 機(jī)械強(qiáng)度和堅(jiān)固性
  • 各種法蘭的選擇
  • 易于更換的傳感元件
  • 合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn):CE、RoHS
  • 直接取代 Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 模塊 – 包括軟件命令在內(nèi)的相同控制功能 (RS485)

    (Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注冊(cè)商標(biāo))

典型應(yīng)用

  • 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

新聞

我們從現(xiàn)在開(kāi)始接受訂單!

規(guī)格

類(lèi)型 BAG302
測(cè)量范圍 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2
精度 (N2)  
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar % of reading ±15
1×10-8 … 5×10-2 Torr % of reading ±15
可重復(fù)性 % of reading ±5
脫氣  
p < 6.7="" x="">-5 mbar electron bombardment, 2 min (default)
p < 5.00="" x="">-5 Torr (programmable between 2 ... 10 min)
溫度  
運(yùn)行(環(huán)境) °C 0 ... +40
存儲(chǔ) °C -40 ... +70
法蘭處烘烤(*傳感器,已拆下電子元件) °C 200
電源電壓 V (dc) +20 ... +28
模擬輸出信號(hào) V 0 ... +9 (log-linear)
電壓與壓力 volts per decade 1
設(shè)定點(diǎn)繼電器 1 (single-pole double-throw relay (SPDT))
1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive
電氣連接 D-Sub, 9-pin, male for analog,D-Sub, 9-pin, female for RS485
接口(數(shù)字式) RS485
發(fā)射控制 manual
絲極 two Yt2O2 coated Ir
絲極狀態(tài) display / digital output
數(shù)字功能 degas, filament on/off and emission control
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni
安裝方向 any
內(nèi)部容積 cm³ (in.³) 16.4 (1.0)
重量 KF / CF 270
BAG302 Ordering Information.PNG

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

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