• 低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高，可更好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
• 全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
• 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2自動(dòng)功能縮短＊3了大約11秒
• 具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)”＊4
• 具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”

場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）

• 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
• 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
  (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
• 采用污染小、高真空樣品倉
• 運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*2