SF6 氣體已有百年歷史，它是法國兩位化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國將其用于曼哈頓計劃（核軍 事）。1947年提供商用。當前SF6氣體主要用于電力工業(yè)中。SF6氣體用于4種類型的電氣設備作為絕緣和/或滅弧；SF6斷路器及GIS（在這里指六 氟化硫封閉式組合電器，上稱為“氣體絕緣開關設備”（Gas Insulated Switchgear)）、SF6負荷開關設備，SF6絕緣輸電管線，SF6變壓器及SF6絕緣變電站。80%用于高中壓電力設備。
六 氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能。其耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優(yōu) 于空氣和油之間的新一代超高壓絕緣介質材料。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，如：斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。 電子級高純六氟化硫是一中理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。冷凍工業(yè)作為致冷劑，致冷范圍可在-45℃～0℃之間。電氣工業(yè)利用其很高介電 強度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。采礦工業(yè)用作反吸附劑，用于礦井煤塵中置換氧。高純SF6還因其化學惰 性、無毒、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護氣體）、航空航天、醫(yī)療（X光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（高級汽車輪 胎、新型滅火器）等。隨著當今科技的發(fā)展，SF6涉及的領域不斷擴展，被越來越多的基礎領域和科技領域廣泛應用。
