Hprobe應用方向
■ 磁性隧道結(jié)
■ 磁隨機存取存儲器
■ 集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)
■ 智能傳感器
Hprobe探針臺產(chǎn)品特點
■ 可以用于100~300mm晶圓
■ 提供大的面內(nèi)和垂直磁場
■ 磁場定向和旋轉(zhuǎn)的三維控制
■ 快速掃描能力
■ 嵌入式傳感器校準
■ 自動測試程序
■ MRAM和傳感器參數(shù)提取軟件
■ 與標準探針卡兼容
■ 快速掃場能力
Hprobe探針臺技術(shù)原理
探針臺采用*的三維磁場發(fā)生器，每個磁場空間軸獨立驅(qū)動。利用這3個自由度，用戶可以在任意空間方向應用和控制場，也可以生成旋轉(zhuǎn)場。三維磁場裝置配備了所有相關(guān)配件，測試程序和磁鐵校準工具包。
三維磁發(fā)生器置于探針臺頂部，并在晶圓上產(chǎn)生局部磁場。為了適應器件測試設計，探頭被放置在晶圓片和發(fā)生器之間的間隙中。磁場發(fā)生器和晶圓托之間的Z方向距離一般可在500μm至5mm之間可調(diào)，取決于所使用的探針卡和探針。
Hprobe探針臺基本參數(shù)
| 面內(nèi) (XY) | 垂直 (Z) | |
| 大單軸磁場 | 350 mT | 550 mT |
| 磁場均勻性@+/1mm | ± 1% | ± 1% |
| 磁場分辨率 | 0.05 mT | 0.02 mT |
| 角度分辨率 | 0,02° | - |
| 場掃描采樣率 | < 50 kHz | < 50 kHz |
| R-H 回線測試時間 | < 100 ms | < 100 ms |
