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GC-9560-PDD 四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

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GC-9560-PDD四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，保證不同底氣的樣品的進樣量。

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GC-9560-PDD四氯硅烷分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達5ppb。四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，保證不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化*項目。

 

硅(SiHCl3)含量（體積分數(shù)）/l0-6                                                                   ≤40025
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量（體積分數(shù)）/l0-6                                                                   ≤40025
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量（體積分數(shù)）/l0-6                                                         ≤20050
金屬元素及其他元素含量（硼+鋁）（B+Al）含量/（µg/kg）                          ≤——0.1
（磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg）                      ≤——0.3
鎵（Ga）含量/（µg/kg）                            ≤——0.5
銻（Sb）含量/（µg/kg）                               ≤——0.5
銦（In）含量/（µg/kg）                              ≤——0.5
鈣（Ca）含量/（µg/kg）                               ≤10.5
鉻（Cr）含量/（µg/kg）                              ≤10.5
鐵（Fe）含量/（µg/kg）                               ≤10.5
鉀（K）含量/（µg/kg）                                ≤10.5
鈉（Na）含量/（µg/kg）                               ≤10.5
鎳（Ni）含量/（µg/kg）                               ≤10.5
鉬（Mo）含量/（µg/kg）                               ≤10.5
錳（Mn） 含量/（µg/kg）                              ≤10.5
銅（Cu）含量/（µg/kg）                              ≤10.5
鎘（Cd） 含量/（µg/kg）                              ≤10.5
鈷（Co）含量/（µg/kg）                              ≤10.5
鋅（Zn）含量/（µg/kg）                              ≤10.5
釩（V）含量/（µg/kg）                                ≤10.5

 

 

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

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