一、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
操作簡(jiǎn)單
Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器操作極其簡(jiǎn)單，用戶可通過(guò)多功能數(shù)字顯示屏調(diào)節(jié)參數(shù)，無(wú)需連接電腦或其它任何復(fù)雜的編程軟件。
精確控制
Alicat 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，幾乎所有型號(hào)通過(guò)增加高精選配項(xiàng)可達(dá)±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性價(jià)比
Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器本身耗電極小，從而降低了系統(tǒng)運(yùn)營(yíng)的成本，且相比于同類產(chǎn)品，其壓損較低，降低壓損意味著更多氣體進(jìn)入到系統(tǒng)中，而不是停留在測(cè)量&控制設(shè)備中。除質(zhì)量流量外，Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器還可同時(shí)測(cè)量體積流量、壓力和溫度，您無(wú)需另外采購(gòu)和安裝其它設(shè)備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量，是監(jiān)控整個(gè)應(yīng)用過(guò)程及減少氣體浪費(fèi)的zui有效的方法。MCS系列的模塊化設(shè)計(jì)使其成為真空應(yīng)用的*選擇。
性能
MS/MCS系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器可測(cè)量與控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，除了RS-232數(shù)字信號(hào)輸出，還配有多種模擬信號(hào)輸出。MS系列質(zhì)量流量計(jì)亦有便攜式型號(hào)(MBS系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標(biāo)準(zhǔn)流量校準(zhǔn)設(shè)備。
反應(yīng)靈敏
與相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)型M/MC系列相同，MS/MCS系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器(防腐蝕型)其測(cè)量響應(yīng)小于10毫秒、控制響應(yīng)為100毫秒。
高重復(fù)性
Alicat 的技術(shù)使得質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器幾乎沒有可移動(dòng)部件，所有零件都被內(nèi)置固定，腔體內(nèi)不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復(fù)性。所有Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的重復(fù)性可達(dá)±0.2% F.S。
值得信賴
現(xiàn)有超過(guò)90000臺(tái)Alicat設(shè)備正被使用在不同領(lǐng)域中，質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于醫(yī)藥、半導(dǎo)體、燃料電池、如：科學(xué)研究、泄漏測(cè)試、環(huán)境監(jiān)測(cè)、 真空鍍膜、半導(dǎo)體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計(jì)量以及過(guò)程工藝氣體測(cè)量&控制等。所有Alicat 設(shè)備均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
二、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)性能
- 多功能數(shù)字顯示屏
- 顯示多種測(cè)量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
- 低壓損
- 無(wú)需預(yù)熱
- 316L不銹鋼本體&傳感器
- FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可選
- 可調(diào)節(jié)PID算法 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
- 內(nèi)置130種常用氣體可選 ，開放COMPOSER? — 氣體編輯器，允許用戶自定義混合氣體組分
- 200:1 量程可調(diào)比
三、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量計(jì)性能參數(shù)
指標(biāo) | ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量計(jì) |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....2000SLPM，3000SLPM，4000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程） |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時(shí)間 | 10ms |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0-100% |
測(cè)量流量范圍 | 128％（過(guò)流率） |
zui大耐壓 | 145psi |
輸出信號(hào)（數(shù)字） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號(hào)可選 | RS485，Modbus，Profibus |
輸出信號(hào)（模擬） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號(hào)可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計(jì)而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A） |
