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奧林巴斯工業(yè)激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4100 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

準(zhǔn)確的測(cè)量

采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)（能zui大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。

高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓
 
由于奧林巴斯工業(yè)激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4100采用405 nm 的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開(kāi)創(chuàng)的I-Z 曲線（請(qǐng)參閱第23 頁(yè)），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

克服反射率的差異

LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量，而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。

多層模式

LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量，而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。

觀察／測(cè)量透明材料的各個(gè)層

多層模式可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測(cè)量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹(shù)脂層，也可測(cè)量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。

正確性和重復(fù)性
 
通常表示測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度的，有2 個(gè)指標(biāo)："正確性"，即測(cè)量值與真正值的接近程度，和"重復(fù)性"，即多次測(cè)量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界*同時(shí)保證了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡。

追溯體系

儀器從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成，并按照一系列嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全面的檢驗(yàn)并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠 。交付產(chǎn)品時(shí)，由選拔出來(lái)的技術(shù)人員，在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行校正和zui后的調(diào)整。

工作流程解決方案，實(shí)現(xiàn)了完整的圖像分析性能

對(duì)于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級(jí)別的測(cè)量，可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件，該軟件可以從OLS4100 直接上傳。

更精準(zhǔn)的粗糙度測(cè)量

作為表面粗糙度測(cè)量的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開(kāi)發(fā)了LEXT OLS4100。對(duì)LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x同樣的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對(duì)于使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的用戶來(lái)說(shuō)，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度模式，可以用自動(dòng)拼接功能測(cè)量樣品表面直線距離zui長(zhǎng)為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測(cè)量結(jié)果。